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抽速近似恒定时的抽气时间计算

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-22 0:09:30 * 浏览: 15
①如果泄漏量很小,可以忽略不计,则真空设备所需的泵送时间t从压力Pi下降到p:当电导率大(U >> Sp)时,则为Sasymp,Sp